产开始65章芯片生产设备到位试生第1

我也承认，咱们么差国家布术，眼下是不如米联邦。但也没你们体技经在做芯片产业的局了。虽然的芯片半导想的那。其实我早就已

五十纳机经设计完自己的芯片了。”理到位米以内的芯片光源投影式国产芯片也，马上就能生产出咱们已息吧！咱们i光刻。更重要的是属于咱告诉你们一成，只要国产光刻机已经完成了制造出三百八十到三百技术突破。论上已经能够一个好消们自己的逻辑处理器

众人听到目瞪口呆了。这当然是

龙翰科技能生产出自器芯片了。己的处理

真的假的？

来的太突然了吧！这幸福也

真的吗？”道：韦弘业急忙“苏总，您说的都是

是间必须玩笑的人片试验性的生家伙看看，西方来。这次必须队精兵猛将。去组织一组织组，把试验车“当然准备好，东西一到位要让米联邦那帮设完成了。你吗！对了那种喜欢开产。你去魔都设的芯片工厂，已经建亮东方亮，这地球离试生织开谁都要抓紧时间调试设备，要们自己的芯片，最近就要组装，然后不我现在已经定了一套芯照样转。是真的了。我在短时间内，，金总监，我在魔都建生产出咱的芯片生产厂，去那边产线苏翰道：，尽快安装。咱们

们就，咱他们的芯片自某国人不让咱们用己造芯片。

人都知道，说到”的也是一样强。龙翰科技硬件这次必须要让全世界计算机，水平

梦凡急状。接下了这个军令金忙拍胸脯

慕。人也是一脸的羡其他行政部门的负责

大员了八九就是地方。金梦凡这么一去十有

是牛国内首行政一把手，厂的逼的不行。想想也个芯片生产

咱们用上自己的芯片部就班，该干什么，苏翰看了看乱说，还干什么。芯片的帮家伙，还说什么米联邦那以后，看看等到时候。”众人道：“大家按不要事情出去

众人闻言顿时是血条再次满血复活。

一个个再也不像之前那样有气无力了。

纷纷都想身仗。打好这场翻

……

会后。

都的芯片前往魔金梦凡带着生产厂。信帮亲一

，已经建好于一直没有设是反半年多了，由在做空气质生产厂量测试。复备，只芯片

气质环境对空的。量要求还是非常高竟芯片生产需要无尘毕

人员，准备迎接设到了以后，急忙组织的到来。金梦凡带队备

……

。一周后

的光刻机首批测验等等设备纷纷到厂开始用、封装机、离子注入机安装。

最重要的功能就是光。和曝光工艺光刻机源

。，当然曝光工艺也不行么不行，主要是产光刻机以前为什国光源技术明显滞后

场上产量最大的芯片其实国际市一点五微米到八百纳米左生产右的技术。设备，普遍还是采用第一代g光源的

芯片米以内都要求三百五十纳毕竟不是所有的的高端芯片制造。

纳米左右的芯片制造。而第二代的i光源才是主要用于三百六十五

。第三代光源深紫外光不过（duv）也已经有了

。只是这会还不是很稳定并不能形成产能

都没有头绪。技术极紫外光（euv而第四代光源）现在所有人

域几制造领乎都卡在这个全球所有的光刻机地方。

虽然芯片生产已经尝试向着第三代光源靠近。

但量产的其实还是在第二代附近转悠。

用的都是第二代光源量产和a;m;公司的k的产品。英特尔公司的奔腾系列系列

在全是第二代光源技术坐庄。，实际上还球的光刻机市场

水平。说到这个时间节点的光刻机制造

以长岛国的两个品牌为主。

一代的水平。而苏前还处于第翰说的国产光刻机之

说完了问题又要说说曝光工艺的问题。光源

毕竟光源和生工艺缺一不产可。

刻机曝光工艺总共种。分为三现在的光

第一种接近式曝光。

第二种接触式曝光。

影式曝光。种投第三

接触式曝光精度很高。

接触晶圆片，伤，良品率低，成本高，但接触式曝光需要成晶圆片和掩膜容易造版的损不适合大规模生产。

。现在几乎没人用了

不触碰晶圆，良品率也高。但接近良，光线衍式曝光也有辨率低。想要提高然射问题率。近式曝光，虽就是有光线衍射以后分品率，只能损失分辨片，没有损伤自己的问题，接

差自然也没人用了。生产处的芯片精度太

胶之间使用透镜聚光来提高分辨率。投影式曝光会在掩膜版和光刻

所以投影式曝光工艺工艺。是眼下芯片加工的主要

只是大方向。不过投影式曝光

同的加工下面还有不工艺分支。

如进步式、扫描式、离轴同轴等等……

难点就在其实芯片制造的上了。这些加工工艺

品率。不同的加工工艺代表了不同的生产速度和良

生产效率自然不可同日而语。

留在一代前的光源技术的水平。还停而国内的光刻机之

虽落后，生产速度和效投影式，但曝率不行。光工艺然曝光工艺也是

个层面，一个的苏翰说的突破，分三材料上的突破。就是曝光工艺上突破，还有各种生产破，一个而是光源上的突

光源。代g以前的国产光刻机是一

。经过一年多的辛苦研发

光源。终于突破到了二代i

还没有未来那么变态。会的光刻机光源技术毕竟这

只要钱到位突破起来还是有可能。的

制约芯片生产主要是投影式曝光的工艺流程。

多芯片设计图纸。的并不多，但他知道很底是什么其实了解翰对光刻机的相关知识从这些图纸上他就能推苏，其实算出对方的工艺顺序到

芯片设计的，只是不造而已。毕竟他是精通精通设备生产和制

不过有了工艺顺序个模糊的答，起码有案。

然答案并虽之百准不能保证百分确。

翰并不是要百答案。但苏分之百准确的

百准确不是抄。袭别人了吗之百分

知识产权的纠纷这样。容易惹起

路，剩下的就叫光苏翰只是给光刻办法。刻机生产团队自己去想机生产团队一个工艺思

(本章完)