案，并召开顾所长同意对重光公认真地听他们说什么技术储备。厂的下来大家继续讨设备和214所渐聚集耀祥，全体员工大会，这让胡，足有十五、六人之多顾所长身边已经渐全所员工档。了一批所里的工程师们论晶圆的奇地打量着胡一亭和康开，都好一亭感到满意，于是接

米还是保守了。走廊里，隔着墙玻在：“作为试验线，1.5微康耀祥毫不怯场，站着厂房里的光刻机道璃指无尘车间的

现在光刻机，今年1月。成都光机所已分步重复投影份以工艺流片成功率8设备的安装调试了国家验收，目前正在北都微电子中心进行经拿出了0.8微米0%以上的好成绩通过

的工艺考核，预计半按照计划，他们打算今年年底之前，大概2月的样子，就cmos全套工艺’0.8微米进行国产设备的‘可以开始年之内可以见分晓。11月1

次微米产制造任务！考ሰ！我看这制程工艺已经子所实现了高良品而且这段时间经过908华晶工率的生！原因很简单，目前0属于自己的0.8微米率的实验通过，的检验制程全套生产设备和到时候咱们程，完制造工艺了在微电国家就算是正式拥有了全可以满足高良品核一定能通过

华晶厂霸王芯片成功移植到了0%，并且还把一微米经超过了7制程的游影工艺生产我们重光的c目前以0.8微米制程良品率已mp1j1芯片，0.8微米制程上，达到了60%以上的良品率。

供使用的试验线实设计能力，这方面国和设备制造的自主技家微ic设计单地说，我国目前基本米制程下的ic强的工艺储备内也只有我们重光厚的功底和成功经了了0.8微米制程工艺的那几唯独欠缺的是0.8公司差的太多。一家有着深术，验，毕竟目前可太少了，屈指可数所以乐观上是已经掌握，研发经验比起国外位，也都没有很在

.储备技术和参数。要为将来的研发，不能满足于08微米制程的设计，还试验继续在新工艺上工艺我们重光要保持领5微米制程持续先优势，就必须񶔫

进，打所下订单，与北都光刻机。”4所这条线进微电子中心同步安所量之后，决定把你们2行技术改究算向中科院光电技术研所也就是1成都光机以胡总和我商装他们的0.8-1微米分步重复投影

电路设计技说说嘛？呵呵呵司是国术的企业，你们能把所们打算怎么搞，能度，我们也很升到内唯一一家有0.8微米集成好奇啊，你里的这个晶圆厂提什么程顾所长闻言赞道：是方便的话。”“我知道你们重光公，要

师们也都点头，很想知道重光打算怎么改214所的工程造这条线路。

道缩小倍率大约是八倍到镜。订一套刻机上光机所这款光：“我们打，于是便坦诚相告师胡一亭见高参数标准的物镜，倍物在场的都程十倍，用来替换成都算从长春光机所是工的五

初步设计方案，所谈，不了新物镜不惜代价的把东以后，就派人去和长光多少钱，总要当然这个花费很大，不过目前我已经有出来。大体搞出来的西做等我把设计思路管

能保证率镜之当然，换了物在乎了，但既然是这个问题。试验线路，也不肯定是不后，良品

，等等等等，手段多，比如控制光刻或者用流缩小像场尺寸比如设计更精准的步胶的厚度，电机以改善套刻五花八门，反正这精度，或者干明度更高的进口脆还有很里大家都是胶代替国产胶，再内行，应该进另外提升制程的办法对这些都不陌生吧。”

是有工程师道：就知道你你说话，我吗？”你年纪轻轻，但一听“胡总内行，真不简单啊！你真的才17岁

……”“哈哈哈

片善意的笑声。间走廊里立刻响起了一此言一出，车

你们还信不过吗？觉得怎么样？”庞加莱猜想你们看胡一亭书记都承认，过我吗？我嘛，这一点江水解的笑道：“我是天才

看过你的庞加莱”龙山，我有工程师道：“看了一半就看不懂了，很惭猜想，不过我相信你是天才胡总工你好，我叫奚，真的！你很了不起！愧啊，但

奚工你留不留下？”一亭问：“胡

气现证明》之后在都很大，所以我主动款芯莱看了你的《庞加有片和程控机名申猜想暨几何化猜想会大城市嘛，但很强的核心技术的，想去庐州的，毕竟是省的完全请留下来了。”得你们重光是，我还是挺心动的，觉毕竟你们设计的几奚龙山道：“我本来是

你加入重光！”胡一亭和康耀祥几乎同时道：“欢迎

镜换成8到10倍，，问道：“胡总工，康总们将来设备毁了3的。”曝光能量光刻机也是成，你问题就很严重了宽从的发热镜那你们打算怎么解决发热后引亭和康耀祥光所的要长奚龙山仿佛要考考胡一.5微米之后，透把五倍物的发热问题，，自从把线时间这么干，那可要把微米调整到了1工，我们这套起镜头变形和偏焦，

形失效的问题刻有同艺里的光刻胶很突出，你们的实验线致下一工序中的重复我想请问你清洗中，残胶问的高级工程师，显影缺陷吗投影出现图们有什么办法解决光刻题很突出，导事也参与进来：“胡工问题进行改有没有打算对这一胶引起的听到奚龙山发难，立康工你们好，我叫王进？”？目前国内工选玉，也是214所

授，剩下一半副，这个胡一亭正教高级工程师是正教授答不上来吧数学水平再高，顾峡生一看这阵仗吓了对工艺制程了解的像教授级别，题，这胡总就是有三头也群人里倒有一半是级工程师可是副对付不了你们这群这一研究员级教授，你们一人问一业有专攻的高工啊！高六臂也个问别。好家伙，术通ic设计！他虽然是世这不是为难人家嘛级，心说你们这么深啊！一跳，但怎么说也不可能界级数学天才，有精

们这样问，让康“大家都别为难胡有晶圆厂的通病，你总和康总了总和胡总怎么回答嘛，这些技术问题是所！”

回答，毕竟每个厂都康耀祥也讪讪地笑着的回答，结合具有自己的工艺，解决问各不相同，真要笼统瞧不起，但若不这个问题就没了边际，说道明天早，心说这还真不好体问题来谈，那题的办法未免要被大家上。也说不完啊

认真地开了口。胡一亭却很怎么说才合适的时候，正当康耀祥犹豫着

大型组合镜头，光是镜片就有十“这有什么难的，光刻头是个，套筒机镜一个接一个，几二十片有。无论哪家光刻机厂商都想要完全避免几何畸变是不可能的，这个问题

源的高压汞灯能间加热又，还要我们干什么！度只有零瞬题，我们做制程的的问的是机子和外国人一会导致镜头组件出现瞬样是工量作为照明好了很高，曝光时的快门速考虑，不要去抱怨机子的几何畸变，但这些都点几秒，自然是去过多不如外国人题，要的问程上间冷却不要

误差最小何畸变，改进激光干涉仪的我们要知道，制程工艺畸变的像场特精度，确保畸变要改进我们的次的实验，寻找每个的对位点，征，从而这既要求我们一次镜头的畸变像场特征，也利用几要摸清硅片定位系统许几何畸变的，里是允，首先我们甚至要可控。在镜头对焦时寻找畸变

吧，再多的我就不说了，都是技术机密。我就只说这么一个思路

的显影缺关心的刻胶残留我们要陷，那就更容重氮萘脂也好，那问题，他们化学的，制程的，不是搞，用聚乙烯醇肉桂酸脂也好，环一遍我们是搞醛树脂氧造厂家怎么问题。改进配方，那都不是易解橡胶双叠氮也都是化工企业的好，酚光刻胶今后再怎么进化决了，我再说至于光成

光的问题，从就路，其中一层是目前国际上刚提出来对光源是上双层胶，降低胶膜解决残胶影响曝解酸性气体，可以彻底解决显影缺陷。体残留影响曝光的思清除残胶，为的用抗反射剂来解决胶的反射，也而路了彻底脱胶，我的思胶体在曝光下分

好吧，我就说这么多看我不能说。是技术机密，，至于双胶工艺如何做，那都具体的

工艺之后，总之突破这两个！今后我们重光的制程技术攻关就在制程技术直上50纳米不成问题这两点上！！！”

c生产工艺融合而设计制程工艺的了解集成电路生产晶圆厂于，他算是设备的程设备与具体i威。团就是专门负责光刻机等先进制制造与生产工要知道，胡一亭在跳槽学术权芯片最佳方案的！若论对1996年地研发总设计师华创担纲天思930艺流程结合，负责为球上排名第一的之前，他在浦海微电子装备集

技术见解，好比天势不可挡！瓴般屋脊瓦水顺着未来的的刚才当流下来那么照世界他技术路线在阐述，可谓是高屋建制程工艺这番话完全是按

工艺比起西方了国内在这方大量技术空来还差得远，西方对白。制程面有这年头国内的华的技术封锁造成

正一样具有冲击力，听一芒四射的大门！门后是亭的话就像飞流直工程师们来说，胡一堆积如山的奇珍异宝是野！但似在烁烁发光！一亭的路子实在是邪门在耳乎又充满了让人浑身起天霹雳，大家觉得胡鸡皮疙瘩的灵感！就好闪光！实在下三千尺的瀑布朵里简直就像是晴像在大家的眼前打开了对于在场的

胡一亭低着头说。激头来，见所有人都在完之后，抬起动而不安地注视着他

胡一亭开以大吼道：为大家不相信自己的始恼火，扬声

出来说说你的解决方案！服站错啦？谁不“怎么啦？我说

图森破！你图样们啊！

的！我胡一亭是不可能错

35微米着我干只要你们跟那就是小菜一碟！.！0

指日可待！！！”50纳米……